高い熱伝導性の銅のモリブデン プロダクト ウエファーの基質
詳細情報 |
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製品名: | モリブデン イオンImplanterの部品 | タイプ: | Mo1 |
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密度: | 10.2 G/cm3 | 純度: | >99.95% |
引張強さ: | >325 MPa | 延長: | <20> |
標準: | ASTM B387-01 | 適用: | 注入型 |
ハイライト: | モリブデン イオンImplanterの部品,ASTM B387-01イオンImplanterの部品,注入型イオンImplanterの部品 |
製品の説明
モリブデン イオンImplanterの部品はハイテクな物質的な表面処理の新しい世代である。固体材料のある特定の表面の特性を改良するために固体材料を書き入れることを高エネルギー金属の要素のイオンビームによって引き起こされる一連の物理的な、化学変化を使用する。
指定及び化学成分
材料 | タイプ | 化学成分(重さによって) |
純粋なMoly | Mo1 | >99.95%min.Mo |
チタニウムZr Mo合金 | TZM | 0,5%のチタニウム/0,08%のZr/0,01 - 0,04% C |
Mo HfC | MHC | 1,2% Hf/0,05 - 0,12% C |
Molyレニウム | もっと | 再5,0% |
Molyのタングステン | MoW20 | 20,0% W |
Molyのタングステン | MoW505 | 0,0% W |
結果は金属イオンimplanterが半導体材料のイオン・インプランテーションの表面の修正の研究そして適用で非より有効、広く利用されていることを示す。多くの窒素のイオン・インプランテーションは実現し金属のイオン・インプランテーションはよく実現することができる。但し、半導体のイオン・インプランテーションの必要性に基づいて従来のイオンimplanterのため比較的強い金属のイオン ビームを得ることは困難であり非半導体材料のイオン・インプランテーションの表面の修正の費用はまた比較的高い。
モリブデン イオンImplanterは映像を分ける:
この表面処理の技術の優越性、実行可能性および広い市場見通しは部門およびずっと単位によってますます認められ、広く利用されている。研究開発の年に従って、金属のイオン・インプランテーションは次のタイプの用具、ダイスおよび部品の表面処理のために特に適している:
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